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三フッ化窒素
純度仕様：4N6
包装：47L/470L/Bundle/ISO
質量：20kg/200kg/320kg/4t/6t/8t
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商品パラメータ
三フッ化窒素（NF3）のICにおける主な用途：
半導体業界のガス洗浄剤であるペルフルオロ化合物PFCは環境に有害であるため、近年徐々に三フッ化窒素NF3に取って代わられている。 化学蒸着CVDボックス洗浄剤としてNF3を使用すると、ペルフルオロ化合物と比較して、汚染物質の排出を約90％削減でき、洗浄速度を大幅に向上させることができる。これにより、装置洗浄能力を約30％増加させることができる。 LCDにおける用途：NF3はエッチング液として液晶ディスプレイLCDの製造工程にも使用できる。 このため、NF3への需要は近年急増している。 太陽電池における用途：NF3は、太陽電池製造業界でエッチングおよび洗浄ガスとしても広く利用されている。
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