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高純度塩化水素
化学式：HF
純度仕様：5N
包装：40L、47L、49L
質量:25kg、30kg、40kg
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派瑞特種気体会社は、国家科学技術02特定高純度半導体製造用ガスの研究・開発と産業化プロジェクトを行っている。当プロジェクトは19種の高純度半導体製造用ガスと12種の混合ガスを利用している。派瑞特種気体会社は、ヘキサフルオロエタン、オクタフルオロプロパン、オクタフルオロシクロブタン、塩化水素、フッ化水素、四フッ化シリコンおよび10種の混合ガスのR&D及び産業化を実現した。
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