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フッ化タングステン
化学式：WF6
純度仕様：6N
包装：10L / 40L
質量:25kg/100kg
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フッ化タングステン 六フッ化タングステンは、主に電子工業でタングステン金属の化学蒸着（CVD）工程の原料として大規模集積回路（LSI）の配線材料WSi2の製造に利用される。 現在、派瑞特種気体会社製高純度フッ化タングステン製品の国内市場シェアは100％に達し、国際市場シェアは40％以上に達している。
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